2022-2023

Метою викладання дисципліни «Сучасні компоненти та автоматизовані технології мікросистемної техніки» є вивчення основних принципів інтеграції мікромеханічних, оптичних, рідинних та електронних деталей та вузлів в одному МЕМС-компоненті або пристрої засобів автоматизації, конструктивно-технологічних рішень типових елементів мікросистемної техніки (МСТ), автоматизованих технологічних процесів їх виготовлення, матеріалів та технологічного обладнання, технічних характеристик перспективних виробів МСТ .

Завданням дисципліни «Сучасні компоненти та автоматизовані технології мікросистемної техніки» є вивчення різновидів компонентів МЕМС та МОЕМС, матеріалів та автоматизованих технологічних процесів для їх виробництва, прикладів застосування таких пристроїв у різних сферах та їхніх особливостей, а також перспективних напрямків розвитку технологій МСТ та технологій їх виготовлення.

В результаті вивчення навчальної дисципліни студент повинен

знати:

- теоретичні основи компонентів МЕМС та МОЕМС;
- матеріали для мікросистемної техніки;
- основні види технологічних процесів, які застосовуються в МСТ;
- завдання автоматизації технологічних процесів в їх виготовленні;
- технологічне та дослідницьке обладнання для виробництва компонентів МЕМС;
- перспективні сфери застосування МСТ в засобах та системах автоматизації.

вміти:

- аналізувати теоретичні аспекти виробництва компонентів мікросистемної техніки;
- аналізувати особливості матеріалів для виготовлення компонентів мікросистемної техніки та обирати матеріали, необхідні для створення певних пристроїв згідно з їхніми характеристиками;
- розробляти автоматизовані технологічні процеси виготовлення компонентів мікроелектромеханічних (МЕМС) та мікро-опто-електромеханічних (МОЕМС) систем.